大功率桌面溅射仪
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大功率桌面溅射仪,采用小电流高电压,*大功率1000w,配有水冷机接口,可长时间运行。该产品为台式磁控溅射镀膜机,能够在非导电或导电不良的样品上涂布金(Au),钯(Pd),铂(Pt)和金/钯(Au / Pd)的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜,使样品适用于扫描电子显微镜(SEM)分析。仪器结构紧凑,全自动控制,设计符合人体工程学,所得结果一致,可重复性高。
主要特点：
轻便、溅射面积大
靶材可按用户要求加工制作
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大功率桌面溅射仪技术参数;
控制方式
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
溅射电源
直流溅射电源
镀膜功能
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
功率
≤1000W
输出电压电流
电压≤1000V 电流≤1A
真空
机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤5*10^-3Pa
溅射真空
≤30Pa
挡板类型
电控
真空腔室
石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm
样品台
可旋转φ62 (可安装φ50基底)
样品台转速
8转/分钟
样品溅射源调节距离
40-105mm
真空测量
皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa)
预留真空接口
KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口