小型高温蒸镀仪

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小型高温蒸镀仪,钨舟加热,或者坩埚加热,温度可达1800度,带样品台旋转功能,使镀膜更加均匀,

软件自动操控、高性价比,非常适合实验室科研使用。

通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为热蒸发镀膜,热蒸发镀膜技术是历史最悠久的PVD镀膜技术之一。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。

★ 专业真空蒸发电源,数显工作电流和电压,恒流输出;

★ 可定制一体化高精度刻蚀掩膜板;

★ 衬底可选择加热或水冷,源基距≥300mm;

★ 可调速旋转靶台使薄膜更均匀

★ 可沉积金属(Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等)、非金属、化合物(MoO3, LiF等)及有机物材料,可拓展沉积单层膜、多层膜及混合膜;

不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图

原样品没有镀膜 115A 100秒 机械泵

115A 100秒 分子泵抽12分钟 115A 120秒 分子泵抽20分钟

真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色

小型高温蒸镀仪KT-Z1650CVD

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

加热方式

数字式功率调整器

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

最大功率

≤1200W

最大输出电压电流

电压≤12V 电流≤120A

真空度

机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤10^-3Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ62 (最大可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品蒸发源调节距离

70-140mm

蒸发温度调节

≤1800℃

支持蒸发坩埚类型

钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳

预留真空接口

KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口

可选配扩展

机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa)

数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa)

分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa)