150分子泵套装机组
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150分子泵套装机组,前级采用双极四旋片真空泵,2.2L/S。分子泵采用150分子泵,空载极限压强为1X10-4Pa
任意角度安装,便于系统集成,紧凑型结构
复合抽气结构,高前级压强下仍保持较大抽速
高强度转子,适用于复杂工业过程
使用方便、应用范围广、性能稳定
n 表面分析
n 质普检漏
n 科学研究
n 其他小型真空系统
150分子泵套装机组KT-150YCF技术参数：
控制方式
手动人机界面控制
前级泵接口
KF25(客户根据真空环境洁净度要求自行安装前级泵)
分子泵
FF-100/150 51000转/分
分子泵抽气速率
140L/S
分子泵启动时间
≤2min
空载极限压强
≤1X10-4Pa
真空测量方式
冷阴极标准规管
真空测量范围
1E﹢2到1E-5 Pa
真空测量精度
1E-4到1E-5 Pa ±40%的读数 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的读数 重复性： ±5%
抽气接口
KF25
阀门类型
KF25手动挡板阀
系统电源
AC220V
系统功率
≤750W
环境温度
5~32℃
冷却方式
强制风冷却
湿度
≤80%RH
外形尺寸
250 X360 X 300mm (宽-深-高)
重量
25KG
随机配件：KF25高真空挡板阀X1个 KF25卡箍X3个 kf25-1米不锈钢波纹管x1根 说明书X1本 电源线x1根 冷阴极真空计X1个
质谱分析
表面分析
电子显微镜
3d打印
无损探测
科学研究
质谱分析
表面分析
电子显微镜
3d打印
无损探测
科学研究
应用领域
平板显示
薄膜电池
Low-E玻璃
ITO
碳化硅
加速器
真空炉
晶体晶振
应用领域
平板显示
薄膜电池
Low-E玻璃
ITO
碳化硅
加速器
真空