圆柱坐标洁净_3轴机械手臂

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圆柱坐标洁净_3轴机械手臂

圆柱坐标洁净_3轴机械手臂特点:

超洁净无尘间用300mm晶圆对应MCR3000C系列

适用于半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运

全轴采用AC伺服电机满足高速搬送的需求

比MHR系列具有更好的性价比优势

机械手臂标准臂长:160mm, 200mm

适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式

配备动作监视器

控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机

S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆

晶圆固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式

手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质

可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供最优的手指

3轴圆柱坐标洁净机械手臂基本参数:

使用环境 洁净间内的大气环境

手臂 单臂

到达距离 400mm (手臂第3关节中心到达距离)

升降轴最大行程 300mm / 400mm / 500mm

可搬运质量 4kg (手臂第3关节处基准)

如需详细产品参数 请联系我们衡鹏

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