5轴洁净机械手臂(真空水平多关节型)

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5轴洁净机械手臂(真空水平关节型)

5轴真空水平多关节型洁净机械手臂特点:

5轴真空水平多关节型洁净机械手臂GTVCR5000系列

实现了下降价格,但是也可以维持以前的GTVHR5000系统的机能,功能

能够在真空环境下对应并排摆放的腔室工作台布局,能够灵活地适应不同类型设备的多种布局

通过优化机械手臂的空间尺寸,有利于减小真空腔室的内部容积

非常适合inline设备

机械手臂标准臂长:280mm, 330mm

手臂关节处使用磁流体密封装置

真空密封:磁流体密封装置以及波纹管

提高洁净度的方法:手臂内部排气口安装5μm级过滤器

双手指机构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间

配备动作监视器

控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式

全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机

S曲线加减速控制方式能够高速,高精度地搬运半导体晶圆

手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质

晶圆固定方式:下托式,利用晶圆自重的边缘夹持式,利用O型胶圈的摩擦力来保持位置

可以针对搬运物体,客户设备布局的实际情况提供最优的手指

5轴真空水平多关节型洁净机械手臂基本参数:

使用环境 洁净间内的大气:温度 15°C-40°C

工艺室温度 最大450°C

手臂 单臂

到达距离 635mm (手臂第3关节中心基准)

升降轴最大行程 60mm

可搬运质量 4kg (手臂第3关节处基准)

如需详细产品参数 请联系我们衡鹏

http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/gtvcr5330.htm

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