真空 探针 气体 微型 测试 低温 高低温 惰性 新技 新技术 闪蒸 技术 大型 溅射 小型 试管 玻璃试管 封管 316 316钢 玻璃 惰性气 惰性气体 气体保护 保护 保护玻璃 焦耳热 可选 制备 选用 LK 材料