小型实验室精密刻蚀溅射仪器_郑科探

郑州科探仪器设备是高质量定制物理 气相沉积(PVD)系统的设计者和制造商,客户服务和售后服务出色。拥有7年以上真空和薄膜沉积技术经验。其研发团队在学界科学家和工程师的支持下,高度积极地开发新设计以满足客户的特殊要求。

郑科探的工程团队设计和制造的组件符合高质量标准。KT-Z1650PVD真空镀膜机已通过分销商销往许多大学和研究中心,并得到了很好的参考和反馈。

仪器描述：

小型实验室精密刻蚀溅射仪器,能够在非导电或导电不良的样品上涂布金(Au),钯(Pd),铂(Pt)和金/钯(Au / Pd)的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜,使样品适用于扫描电子显微镜(SEM)分析。仪器结构紧凑,全自动控制,设计符合人体工程学,所得结果一致,可重复性高。

产品特点：

· 彩色触摸屏：数据输入简单快速

· 通过触摸屏中直观检测数据和曲线;历史页面可显示历史涂层信息。

· 可控镀膜速率,可得到更精细的晶粒结构

· 可手动或自动,根据时间或根据厚度进行溅射

· 样品台更换简单：标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品带来好的喷金效果。

小型实验室精密刻蚀溅射仪器技术参数;

控制方式 ;7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

溅射电源 ;直流溅射电源

镀膜功能 ;0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率 ;≤1000W

输出电压电流 ;电压≤1000V 电流≤1A

真空 ;机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空 ;≤30Pa

挡板类型 ;电控

真空腔室 ;石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

样品台 ;可旋转φ62 (可安装φ50基底)

样品台转速 ;8转/分钟

样品溅射源调节距离 ;40-105mm

真空测量 ;皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa)

预留真空接口 ;KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口