桌面式高温蒸镀仪_郑科探

桌面式高温蒸镀仪

小型蒸镀仪是一种在真空条件下加热蒸发容器中待蒸发材料的方法,以使原子或分子蒸发并从表面逸出以形成蒸气流,进入基材或基材表面,然后凝结成固体膜。

小型蒸镀仪包括以下基本过程：

(1)加热蒸发过程：包括从冷凝相变为气相的过程,并且每种蒸发物质在不同温度下具有不同的饱和蒸气压。

(2)气态原子或分子在蒸发源和基质之间的传输,即原子或分子在周围大气中的飞行过程。

(3)蒸发的原子或分子在基板表面上的沉积过程。即,蒸发,冷凝,成核,成核生长,形成连续的膜。由于基材的温度远低于蒸发源的温度,因此气态分子将直接经历从基材表面上的气态到固态的相变过程。

特点

● 全自动抽气系统

● 旋转样品台

● 菜单驱动式"用户"键盘输入

● 快速释放头方便选择不同的头

● 约束的排气控制

以下是不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图

原样品没有镀膜 115A 100秒 机械泵

115A 100秒 分子泵抽12分钟 115A 120秒 分子泵抽20分钟

真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色

桌面式高温蒸镀仪KT-Z1650CVD

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

加热方式

数字式功率调整器

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

最大功率

≤1200W

最大输出电压电流

电压≤12V 电流≤120A

真空度

机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤10^-3Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ62 (最大可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品蒸发源调节距离

70-140mm

蒸发温度调节

≤1800℃

支持蒸发坩埚类型

钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳

预留真空接口

KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口

可选配扩展

机械真空泵(可抽真空 5分钟＜5Pa)

数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa)

分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa)