腐蚀性气体质量流量计气体配比器_郑科探

腐蚀性气体质量流量计气体配比器,

· 采用的恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性。

· CS200C产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV,CS200C产品金属表面粗糙度更可达10RA以下,CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA。

· CS200产品严格按照SEMI标准生产制造,尺寸符合国际通用的SEMI标准。

· CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字,模拟输入输出。

· 产品支持RS485,DeviceNet通讯方式。

· 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。

腐蚀性气体质量流量计气体配比器KT-C4ZS资料 ;

产品型号

KT-PCS4Z

KT-C4ZS

气体通道

4进1出

4进1出

可根据需求定制

产品类型

高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制

可选量程

20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选)

产品精度

高精度型±1％F.S

普通型±1％F.S

重复精度

高精度型±0.2% F.S

普通型±0.2% F.S

线性

高精度型±0.5% F.S.

普通型±1% F.S.

响应时间

高精度型≤2sec

普通型≤4sec

工作温度范围

(5~45)°C

供电电源

~85-265VAC 50/60Hz

最大功耗

40W

进气口压

≤0.6MPa

连接管道

316不锈钢管道

截止阀类型

电磁阀

单向阀开启压力

0.02Mpa

压力显示量程

0-0.6Mpa

控制方式

7寸触摸屏智能调节

时间设定

0-32000分钟

清洗功能

一键清洗

程序控制

5段可编程序(时间-流量随意设定值)

压力显示

有(出气压力检测且有压力上限设置过压切断总输出气路)

气体混合罐

有(内置不锈钢扰流板气体混合均匀)

气体加热

无(可选配气体混合罐加热,加热温度室温至350℃可调)

流量累计

有(累计当前运行总流量)

可选进出气口接头形式

3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头

抗电磁干扰

有

外形尺寸

550x380x400mm

重量

18KG～20KG