ADT 8230_12寸切割机_全自动双轴

ADT 8230_12寸切割机_全自动双轴

ADT 8230是一款高效率、高精度、高性能、低成本的双轴(对向)全自动晶圆切割机。*大切割工件尺寸可达12英寸。

ADT 8230全自动双轴12寸切割机特点：

· 灵活性-支持*大3英寸刀片;

· 支持1.8KW或2.2KW大功率主轴(适用于更高要求的切割);

· 使用17英寸触摸显示屏,操作界面直观;

全自动双轴12寸切割机8230其它重要特点

· 切割效率高-大幅降低使用成本;

· 空气主轴;

· 快速自动对齐及切割定位,提高切割效率;

· 高精度的自动刀痕检测及切割质量分析;

· 切割过程数据记录和统计分析;

· 更换刀片时锁定主轴,操作更快速、简便;

· SECS/GEM通信标准;

· 机器维护时可触及系统的任何区域,带来维护的便利性;

ADT全自动双轴12寸切割机8230规格：

MAX工作盘尺寸 φ300mm

X轴 切割范围 310mm

进刀速度输入范围 0.1-600mm/s

Y1&Y2轴 切割范围 310mm

单步步进量 0.0001mm

定位精度 Within 0.002/310 mm

(Single step accuracy)within 0.002/5

Z轴 *大行程 30mm(对应2英寸刀片)

移动分辨率 0.0001mm

重复精度 0.001mm

θ轴 *大旋转角度 380deg

主轴 主轴类型 对向式双主轴

额定扭矩 0.33(1.8kw)N.m

*高回转速 6,000 ～60,000(1.8KW)min-1

刀片尺寸 2"

视觉系统 1倍和8倍高清光学相机 相机光源：LED(直光 & 斜光)

尺寸(W×D×H) 1220 × 1550 × 1850 mm

重量 Approx 2000kg

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