4轴晶圆搬运机械手臂适用于超级洁净间要求
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4轴晶圆搬运机械手臂适用于超级洁净间要求
4轴晶圆搬运机械手臂特点：
适用于超级洁净间要求的4轴圆柱坐标洁净机械手臂
在保持高性价比和高速传输特性的基础上,解决了步进电机常见的丢步问题,
适用于减薄晶圆以及晶圆四周边缘区域真空吸附方式的新型双臂机械手臂
采用了不会发生丢步现象的控制方式来控制步进电机
高强度手臂/手臂第3关节处可承受3kg力(包含腕部机构模块,晶圆的质量)
适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式
4轴晶圆搬运机械手臂基本参数：
使用环境 洁净间内的大气环境
手臂 双臂
到达距离 475mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴MAX行程 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm
可搬运质量 3kg (手臂第3关节处基准)
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