【加工案例】斗山机床在半导体中的应用（一）真空装置

不论是应用于半导体设备的陶瓷材料、还是不锈钢和钛等难切削的加工材料,斗山机床都拥有完善的解决方案。

每年韩国T产业所需的80%以上的机床是由斗山机床提供。斗山机床拥有完善的售前售后服务,秉承着顾客至上的原则,无论在什么情况下,都能够为客户提供*完美的服务及多种不同的解决方案。

#01

前工艺设备

(一)真空装置

(二)喷射/清洗/加热

(三)抛光/金属化

(四)晶圆传输系统

#02

后工艺设备

(五)晶圆检查设备

(六)模具

(七)切屑检查设备

#03

其它设备

其他零部件

【主要材料】

不锈钢/铝

【加工特征】

重切削

机械耐久性要求

不休息连续加工大型加工品的情况较多

精密度：需要保持真空

【斗山推荐设备】

NHM series 卧式加工中心

高刚性设计

重切削(NHM)

高生产率(NHP)

高刚性床身结构

W型床身

M型床身

通过FEM技术保持高稳定性和耐用性;该系列采用M和W型床身结构,提供了床身整体的稳定性,确保了强力切削。

DCMⅡseries 多功能龙门式加工中心

高刚性

高生产率

大型工作台

采用滑枕式主轴和鞍座结构

以支持重型切削

拥有同类产品中高刚性的硬轨,及橫截面为380x380mm滑枕端面,可确保水平方向上任何工件负载下的*佳重型切削性能。

真空装置-法兰/夹具

【主要材料】

不锈钢/陶瓷

铝/铬镍铁合金

【加工特征】

高精密度

应对内径加工

应对多种多样的形状

【斗山推荐设备】

PUMA GT series 国际标准车中心

高速

强力切削

高生产率

内径车削

刀具长度(长度/直径)

PUMA GT2100

3.5D

PUMA GT2600

3.5D

PUMA GT3100

4.0D

Mynx series 重型立式加工中心

高刚性

强力切削

高生产率

改良的主轴结构

双端面刀具夹紧系统

该系统凭借主轴的弹性变形和精确厚度控制,实现锥度侧的同步双端面接蝕。